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硅片热处理的意义及用到的热处理回转窑

发布日期:2022-12-06 13:53:38 浏览次数:78

硅片退火热处理处理,是工艺的一个环节。是按一定的程序对硅片进行升温、降温......的过程;
为什么要进行退火?原因之一是,硅片中含有氧,氧有吸取杂质的作用。退火时可以将硅片表面附近的氧,从其表面挥发脱除,使表面附近的杂质数量减少。有利于器件的制造。

下面介绍下我公司的硅片热处理回转窑设备


产品名称:硅片处理回转炉 硅片热处理回转窑 硅片烧结回转炉

一、概述

  硅片烧结炉,中式连续式生产型回转窑炉主要用于CVD实验,也运用于冶金,玻璃,热处理,锂电正负极材料,新能源,磨具等行业测定材料在一定气氛条件下的专业设备。旋转管式炉和传统的马弗炉相比,它的最大优点在于炉管是转动的,物样在加工过程中,不停地翻动。因此加工质量好,效率高,并且取得的实验数据较接近于生产状态。由于可以连续出料,所以加工大量物样时,更能显示其优越性。另外旋转回转窑炉管的两端采取了密封措施,所以在使用过程中还可通入氧化,还原等必要的气氛。

二、中式连续式生产型回转窑炉型号规格:

设备型号炉膛尺寸(mm)温度(℃)额定功率(KW)电压(V)
BLHG系列φ120*2000-25001100-16008-16380
BLHG系列φ160*2500-30001100-160012-30380
BLHG系列φ220*2500-40001100-160015-40380
BLHG系列φ270*2500-50001100-160020-50380
BLHG系列φ320*2500-60001100-160030-60380
BLHG系列φ370*3000-7000110030-70380
BLHG系列φ400*3000-8000110040-80380
BLHG系列φ450*4000-9000110050-100380
BLHG系列φ500*5000-9000110060-110380
BLHG系列φ550*5000-9000110070-120380
BLHG系列φ600*5000-10000110080-160380
BLHG系列φ650*5000-120001100100-240380
BLHG系列φ700*6000-120001100140-280380

注:硅片热处理回转窑炉可根据用户要求另行设计制造,更多规格及参数和详细技术方案请来电咨询!  中式连续式生产型回转窑有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。具有安全可靠、操作简单、控温正确度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。联系电话18888033558吴经理!


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