电阻炉(真空气氛炉、真空炉)真空系统包括真空泵、真空阀门、真空仪表、炉腔和真空管路,真空系统的检查主要由操作人员完成,在工作中做好以下日常检查工作:
(1) 对机械泵的检查是暂不打开止气电磁阀,先让泵运行起来真空管抽一段时间,观察真空泵运行过程中的声音及泵体振动变化情况。
(2) 产期不用的泵每周至少运行一次,在空载的情况下运行1-2小时左右,检查泵体是否漏油。对于带有气镇阀的机械泵,可短时间打开气镇阀。
(3) 真空泵油需要定期更换。真空泵运行时,应注意观察油位及油色的变化。正常情况下,泵油应透明,并成淡黄色,如果油的上部出现白色浑浊现象,说明有水汽或有机溶剂进入真空泵,解决的办法有两个,一是更换泵油;而是根据实际情况可将气镇阀门打开一段时间,如果还不能恢复正常油色,说明泵油已经乳化变质,只有更换了。
(4) 对真空阀门、炉腔和真空管路要定期进行漏气检查,按要求定期更换密封圈。检查电磁阀开启是否正常,各个连接部分,比如法兰、螺栓是否存在松动等现象。
(5) 对于与炉腔有关联部件要保持清洁,炉内一旦脏化要进行清洁处理,为使炉内保持干燥气氛,清洁后需要烘炉。
(6) 罗茨泵、机械泵工作时产生振动,会造成设备的紧固件(如螺栓)松动,每隔2-3个月将设备的螺栓重新紧一遍。
(7) 检查真空规管和测量仪表是否到了校验期,规管的安装及密封是否发生了变化。
(8) 检查机械泵排气口有无堵塞,排气管道是否畅通,否则会引起泵内压力过高,导致密封损坏或喷油。
(9) 检查机械泵的止气电磁阀的动作,正常情况下,机械泵停止时电磁阀自动关闭,避免返油的发生。
(10) 检查扩散泵加热器有无断路故障。
(11) 检查泵用冷却水、冷阱用冷却水是否畅通,管路的水压开关和流量继电器动作是否正常。
(12) 检查气动真空阀门或电磁真空阀门的工作情况,有无动作不灵活和卡死现象。
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