在真空压力烧结炉这种设备中,烧结料受到高温的同时还受到机械压力和真空的作用，可以用来烧结密度仅次于铸造的产品。一般粉末材料充填到石墨制成的模子内，受到700-1500MN/m3的机械压力，且在真空下加热到2500℃。模子可通过电流直接加热，亦可感应间接加热。

   真空压力烧结炉主要用于烧结易同高温气体反应材料的致密料坯，如氧化物、碳化物、硼化物等料气烧结后能达到很高的密度，一般密度大于理论值的95%，而且兼有很高纯度。石墨电阻器和石墨模在真空操作中的重量损失极微。真空热压烧结是在压实工艺中同时利用高压、温度和时间等诸多参数来控制烧结体的质量。