真空炉的结构特点主要包括:
(1)严格的真空密封。金属制品进行烧结或者热处理均在密闭的真空炉内进行,因此获得和维持炉子原定的漏气率、保证真空炉的工作真空度,对确保制品的质量有非常重要的意义。为了保证真空炉的真空性能,在真空炉设计中必须遵循的基本原则是:炉体要采用气密焊接;在炉体上尽量少开孔或者不开孔;少采用或避免采用动密封结构,以尽量减少真空泄漏;安装在炉体上的附件,如水冷电极、热电偶导出装置都必须设计密封结构。
(2)加热与隔热材料只能在真空状态下使用。真空电阻炉的加热与隔热材料在高温与真空下工作,对这些材料提出了耐高温、蒸气压低、辐射效果好、导热系数小等要求,对杭氧化性要求不高。真空电阻炉广泛采用了钨、铝、钽和石墨等加热与隔热材料,而这些材料在大气状态下极易氧化,常规电阻炉一般不采用它们作加热材料。
(3)冷却装置。真空炉的炉壳、炉盖、电热元件导出装置〔水冷电极)、中间真空隔热门等部件均在真空、受热状态下工作,为了保证各部件的结构不变形,真空密封圈不过热、不烧损,各部件应该根据不同的情况设置水冷装置,以保证炉子正常运行并有足够的使用寿命。
(4)采用低电压、大电流。当真空度在0.1一IO0Pa范围内时,通电导体在较高的电压下会产生辉光放电现象,严重的会产生弧光放电以致烧毁电热元件、隔热层等。因此,真空炉电热元件的工作电压一般都不超过80-100V。同时,在电热元件结构设计时要采取一些有效措施,如尽量避免有尖端的部件、电极间距不能太小等。
(5)要求自动程度高。
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