电炉真空系统如何操作 低真空电阻炉的真空系统，只有机械泵或由机械泵与罗茨泵组成的机组，操作相对比较简单。真空电阻炉从大气状态抽到工作真空度，真空系统的操作主要分四步： 1、 罗茨泵启动。打开前级阀，关闭主阀和预抽阀，用按钮启动机械泵，当低真空规管2测量的真空度高于罗茨泵入口真空度时，比如小于2kPa，启动罗茨泵。 2、 预热扩散泵。主阀和预抽阀仍处于关闭状态，前级泵机组对扩散泵抽真空，当低真空规管2测量扩散泵前级真空度高于规定值时，比如小于7Pa,启动扩散泵加热器。 3、 预抽炉内真空。先关前级阀，并停止罗茨泵，稍后打开预抽阀对炉内抽真空。炉内真空度抽到高于罗茨泵入口真空度时，再启动罗茨泵。前级泵机组对炉内抽气，使之达到预抽真空度。 4、 抽高真空。炉内真空度达到或高于规定值，且扩散泵加热时间到，先关预抽阀，然后开高真空阀，对炉内抽高真空，直到高真空规管测得的炉内真空度达到或高于工作真空度，才进行下一步操作。 真空系统的关闭步骤相对比较简单，当炉子温度减低到可关真空系统的要求时，关闭主阀，接着关闭扩散泵加热器，但前级阀不能关闭，前级泵机组仍然工作，直到扩散泵加热器冷却时间到，才依次关闭前级阀和前级泵机组。