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真空炉真空系统如何操作

发布日期:2022-12-06 14:48:15 浏览次数:13

电炉真空系统如何操作 低真空电阻炉的真空系统,只有机械泵或由机械泵与罗茨泵组成的机组,操作相对比较简单。真空电阻炉从大气状态抽到工作真空度,真空系统的操作主要分四步: 1、 罗茨泵启动。打开前级阀,关闭主阀和预抽阀,用按钮启动机械泵,当低真空规管2测量的真空度高于罗茨泵入口真空度时,比如小于2kPa,启动罗茨泵。 2、 预热扩散泵。主阀和预抽阀仍处于关闭状态,前级泵机组对扩散泵抽真空,当低真空规管2测量扩散泵前级真空度高于规定值时,比如小于7Pa,启动扩散泵加热器。 3、 预抽炉内真空。先关前级阀,并停止罗茨泵,稍后打开预抽阀对炉内抽真空。炉内真空度抽到高于罗茨泵入口真空度时,再启动罗茨泵。前级泵机组对炉内抽气,使之达到预抽真空度。 4、 抽高真空。炉内真空度达到或高于规定值,且扩散泵加热时间到,先关预抽阀,然后开高真空阀,对炉内抽高真空,直到高真空规管测得的炉内真空度达到或高于工作真空度,才进行下一步操作。 真空系统的关闭步骤相对比较简单,当炉子温度减低到可关真空系统的要求时,关闭主阀,接着关闭扩散泵加热器,但前级阀不能关闭,前级泵机组仍然工作,直到扩散泵加热器冷却时间到,才依次关闭前级阀和前级泵机组。

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