产品名称：晶圆退火真空炉 真空气氛烧结炉 氧化锆真空炉

一．概述

晶圆退火真空炉 真空气氛烧结炉 氧化锆真空炉，主要以抽完真空后通入保护气氛进行高温处理的设备，以抽真空形式快速把炉内空气置换，以减少炉内氧含量，并节省保护气。本炉主要适用于小批量生产，利用人工把产品放入炉腔内烧结之用，具有 使用灵活性高等优点。

二、主要参数

型    号：BXZQ-54-16

炉腔尺寸：700*400*430mm（深X宽X高）

使用气氛：氮气、氩气（正压＜0.04Mpa下使用）

使用方法：预抽真空后通入气体保护烧结

额定功率：≈54KW（实际功率由仪表根据热损耗自动控制调节）

电    压：380V

额定温度：1600℃

控制方式：可控硅移相调压

报警保护：超温、断偶报警保护

温控仪表：智能PID调节，30段可编程式控温曲线（全自动升、降、保温）

分度号：采用B分度铂铑热电偶

真空泵：旋片式真空泵

加热温区：1个温度区域单独控制

加热元件：硅钼棒

注：晶圆退火真空炉 真空气氛烧结炉 氧化锆真空炉等其他型号规格可以根据用户实际需求设计，价格仅参考，欢迎咨询详谈：0510-87195028 18888033558 吴经理。