真空电阻炉分为卧式和立式两种，卧式采用工件水平装出炉方式；立式采用工件上装或下装出炉方式，也就是上装料或下装料方式。通常小型立式真空烧结炉从顶部装出工件，即采用下装料方式。控制系统实现对温度和真空过程控制，要求操作方便，工作稳定可靠，控温精度高。

 控制系统采用PLC、计算机或智能温度控制器，能达到较高的自动化程度。多数采用低电压大电流加热方式，执行器为电炉变压器、磁性调压器或晶匣管调功器等。设计有完备的安全连锁装置和超温保护装置，能确保真空电阻炉安全使用。

 真空电阻炉按真空度的高低分为低真空电阻炉和高真空电阻炉。低真空电阻炉的真空机组只有一级机械泵，而高真空电阻炉至少有两级真空机组，低真空机组和高真空机组，低真空机组由机械泵和罗茨泵组成，高真空机组由扩散泵和相应的真空附件组成。

 高温真空烧结炉一般采用水冷方式。

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